ASML, 극자외선(EUV) 노광 연구 착수

ASML이 더 짧은 파장의 빛으로 미세 회로를 새기는 극자외선(EUV) 노광으로의 전환 연구를 시작함. 2년 뒤에는 인텔 등 미국 반도체 기업이 참여하고 미국 에너지부의 기초 연구를 활용하는 컨소시엄에 합류함. 컨소시엄 참여 대가로 미국 내 연구센터 설립과 미국산 부품 조달 비중 확대를 약속했으며, 이는 수십 년에 걸친 EUV 양산 장비 개발의 출발점.