milestone
ASML, TWINSCAN 듀얼 스테이지 구조 도입
2001 25년 전
ASML이 한 웨이퍼를 노광하는 동안 다음 웨이퍼를 측정·정렬하는 듀얼 스테이지 TWINSCAN 시스템을 선보임. 이 구조로 장비의 생산성과 정밀도가 크게 높아져 시간당 더 많은 칩을 만들 수 있게 됨. 경쟁 우위가 워낙 커서 더 높은 가격을 받으면서도 점유율을 늘릴 수 있었으며, 같은 해 실리콘 밸리 그룹(SVG) 인수도 마무리해 기술력을 보강.
