ASML, 계측 기업 HMI 인수 발표

ASML이 대만의 전자빔 계측 장비 기업 Hermes Microvision(HMI)을 약 31억 달러에 인수하겠다고 발표함. 더 작고 정교한 반도체를 만드는 데 필요한 검사·계측 기술을 확보하기 위한 인수로, 노광 전후 공정을 함께 최적화하는 홀리스틱 리소그래피 포트폴리오를 강화. 이듬해 전자빔 패턴 충실도 계측 시스템의 첫 출하로 이어짐.