ASML, 칼 자이스와 광학 협력 시작

ASML이 PAS 2500 스테퍼를 출시한 같은 해, 독일 광학 기업 칼 자이스와 노광 장비용 광학계 협력 관계를 맺음. 굴절 렌즈와 반사 거울 등 노광 정밀도를 좌우하는 핵심 광학 부품을 자이스가 공급하는 구조로, 이후 수십 년간 이어진 양사의 협력은 침지·EUV 노광 기술 실현의 토대가 됨.