ASML, 첫 EUV 시제품 장비 출하

ASML이 첫 극자외선(EUV) 시제품 노광 장비 TWINSCAN NXE:3100을 아시아 반도체 제조사의 연구 시설에 출하함. 더 짧은 파장의 빛으로 더 작은 회로를 새겨 더 빠르고 강력한 칩을 만드는 EUV 시대의 시작을 알린 이정표로, 1997년 연구 착수 이후 십수 년에 걸친 개발이 실제 장비 출하로 이어진 순간.