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인텔·TSMC·삼성, ASML 공동 투자 참여
2012 14년 전
EUV 차세대 장비 개발에 필요한 막대한 자금을 마련하기 위해 ASML이 공동 투자 프로그램을 시작해, 지분 약 23%를 최대 고객 세 곳인 인텔·TSMC·삼성전자에 매각함. 인텔은 같은 해 7월 약 41억 달러를 투자해 15% 지분을 확보했으며, 투자에 참여한 고객사들은 ASML의 EUV 연구에 협력할 유인을 갖게 됨. 특히 TSMC가 EUV 장비 개발·검증에 긴밀히 협력.
