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ASML, 광원 기업 시머 인수 완료
2013 13년 전
ASML이 2012년 10월 약 25억 5천만 달러에 발표한 심자외선·극자외선 광원 제조사 시머(Cymer) 인수를 마무리함. 노광 장비의 핵심 부품인 광원을 자사 역량으로 끌어들여 EUV 장비 개발을 가속하기 위한 인수로, 주석 플라즈마에서 극자외선을 만드는 광원 기술 확보가 EUV 양산 실현의 중요한 한 걸음이 됨. 같은 해 2세대 EUV 시스템 NXE:3300도 출하.
