milestone
ASML·imec, High-NA EUV 공동 연구시설 개소
2024-06-03 월요일 · 2년 전
네덜란드 펠트호번에 High-NA EUV 연구시설을 공동 개소. EXE:5000 시제품을 비롯한 공정·계측 장비를 반도체 제조사와 소재·장비 업체가 시험할 수 있도록 제공하여 차세대 미세공정의 상용화 준비를 지원함.
네덜란드 펠트호번에 High-NA EUV 연구시설을 공동 개소. EXE:5000 시제품을 비롯한 공정·계측 장비를 반도체 제조사와 소재·장비 업체가 시험할 수 있도록 제공하여 차세대 미세공정의 상용화 준비를 지원함.
