ASML·imec, 반도체 연구·지속가능성 협력 확대

ASML과 벨기에 반도체 연구기관 imec이 5년간의 전략적 협력 계약을 발표. 0.55 NA EUV·기존 EUV·침지 노광과 계측 장비를 imec의 실증 생산시설에 설치하고 2나노미터 미만 연구와 지속가능성 연구를 추진하기로 함.