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ASML·자이스, 차세대 Hyper-NA 기술 개발 방향 공개
2026-10-08 목요일 · 올해
ASML과 광학 협력사 자이스의 연구진이 기존 High-NA 이후를 겨냥한 Hyper-NA 노광 기술의 실현 가능성을 논문을 통해 공개. 더욱 작은 패턴 형성을 목표로 하나 양산용 장비의 출시나 상용화를 확정한 발표는 아님.
ASML과 광학 협력사 자이스의 연구진이 기존 High-NA 이후를 겨냥한 Hyper-NA 노광 기술의 실현 가능성을 논문을 통해 공개. 더욱 작은 패턴 형성을 목표로 하나 양산용 장비의 출시나 상용화를 확정한 발표는 아님.
