ASML, 첫 침지(immersion) 노광 장비 출하

ASML이 렌즈와 웨이퍼 사이에 물 층을 두어 더 작은 패턴을 새기는 첫 침지 노광 장비 TWINSCAN AT:1150i를 선보임. 물을 통과하며 빛의 유효 파장을 줄이는 침지 기술로, 기존 193나노미터 광원으로도 더 미세한 회로를 구현할 수 있게 됨. TSMC와의 협력을 바탕으로 한 이 기술은 이후 첨단 공정 노광의 표준이 됨.