TSMC가 EUV를 본격 적용한 5나노미터(N5) 공정을 세계 최초로 대량 양산에 올림. 남부과학단지 18팹에서 양산했으며 애플 A14와 첫 자체 실리콘 M1 칩이 이 공정으로 제조됨. EUV를 광범위하게 쓴 첫 주류 공정으로, 모바일을 넘어 PC·서버로 첨단 공정 수요가 확장되는 계기.
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TSMC가 미국 애리조나주 피닉스에 첨단 반도체 공장을 짓겠다고 발표함(5월). 첨단 칩 제조를 미국 본토에서 수행하는 첫 대규모 투자로, 이후 미국 반도체 지원법(CHIPS Act)과 맞물려 규모가 크게 확대됨. 한 나라에 집중됐던 첨단 반도체 생산을 분산시키는 지정학적 전환의 신호탄.
TSMC가 ASML의 EUV(극자외선) 노광장비를 적용한 N7+ 공정으로 업계 최초의 상용 EUV 칩을 대량 출하했다고 발표함(10월 7일). 기존 공정 대비 트랜지스터 밀도를 높이면서 EUV의 양산 가능성을 처음 입증한 사건. 이후 5nm·3nm로 이어지는 EUV 시대를 TSMC가 가장 앞서 연 출발점으로, ASML과의 협력이 첨단 공정의 핵심임을 보여줌.
TSMC가 7나노미터(N7) 공정을 세계 최초로 대량 양산에 올림. 애플 A12, 화웨이 기린 980, AMD 라이젠·라데온 등 고성능 칩이 잇따라 이 공정으로 제조됨. 미세공정 로드맵에서 머뭇거리던 인텔을 제치고 TSMC가 첨단 공정 선두 자리를 굳힌 분수령.
삼성전자가 시스템LSI 사업부에서 파운드리 사업부를 떼어내 독립 사업부로 출범시킴. 자사 칩 설계와 분리해 외부 고객 유치에 집중하며 TSMC를 본격 추격하겠다는 선언. EUV 기반 미세공정에서 두 회사의 경쟁이 격화되는 시작점이지만, TSMC는 이후로도 파운드리 시장 점유율 절반 이상을 지키며 선두를 유지.
애플이 아이폰 6S용 A9 칩 물량을 TSMC와 삼성전자에 나눠 발주함. 두 파운드리가 같은 칩을 두고 정면으로 맞붙은 보기 드문 사례로, 공정·수율·전력효율이 비교 도마에 오름. 이후 A10(2016)부터 애플이 TSMC에 첨단 칩 생산을 사실상 독점 위탁하며 경쟁의 승부가 TSMC 쪽으로 기욺.
TSMC가 20나노 공정으로 애플과 아이폰 6·6 플러스용 애플 A8 칩 생산 계약을 맺고 2014년부터 일부 칩을 생산할 것으로 보도됨. 당시 애플은 삼성전자에 대한 의존도를 낮추려는 움직임을 보이고 있었으며, 이 계약은 이후 A8 칩 생산을 통해 TSMC가 애플 공급망에 본격 진입하는 기반이 됨.
TSMC가 0.13μm FSG 및 low-k 공정의 생산 성과를 발표함. 앞서 TSMC는 어플라이드 머티어리얼즈의 Black Diamond CVD low-k 절연막을 채택해 0.13μm 구리 배선 칩 생산에 적용했으며, 2003년 4월 기준 230개 이상의 제품 설계가 테이프아웃되고 8인치 환산 10만 장 이상의 0.13μm 웨이퍼가 출하됐다고 밝힘. TSMC는 자사의 0.13μm low-k 공정이 파운드리 업계 최초로 고객 제품 인증을 통과해 대량생산에 들어갔다고 설명하며, 자체 첨단 공정 개발·양산 역량을 입증함.
TSMC가 뉴욕증권거래소(NYSE)에 미국주식예탁증서(ADR)를 상장함. 대만 기업으로는 최초의 NYSE 상장으로, 국제 자본을 직접 조달하는 길을 엶. 글로벌 기업으로서 위상을 공식화하며 이후 막대한 설비 투자를 뒷받침한 사건.
TSMC가 대만증권거래소(TWSE)에 주식을 상장함. 설립 7년 만에 자본시장에서 대규모 투자 재원을 확보해 공격적 설비 투자에 나설 발판을 마련함. 같은 시기 0.5마이크로미터 공정으로 진입하며 기술과 자본을 함께 키운 성장기의 출발.
인텔 CEO 앤디 그로브가 TSMC의 제조 공정을 검증하고 인증하며 주문을 냄. 무명의 신생 파운드리였던 TSMC가 세계 최고 반도체 기업으로부터 품질을 공인받은 사건. 이 인증을 발판으로 TSMC가 국제 시장에서 신뢰를 얻고 고객을 넓히는 전환점.
대만 정부가 산업 기술 역량을 끌어올리기 위해 비영리 응용연구 기관인 공업기술연구원(ITRI)을 신주에 설립함. 노동집약 경공업에 머물던 대만 산업을 기술 기반으로 전환하려는 국가 전략의 출발점. 훗날 TSMC·UMC를 비롯한 대만 반도체 산업이 모두 이곳에서 싹틈.
대만 ITRI가 미국 RCA로부터 7마이크로미터급 집적회로 제조 공정 기술과 특허를 이전받음. 자체 기술이 전무했던 대만이 반도체 양산 기반을 처음으로 확보한 사건. 이때 RCA로 파견돼 기술을 익힌 엔지니어들이 이후 대만 반도체 산업의 핵심 인력으로 성장.
대법원 2부가 2026년 5월 12일 노상원의 개인정보보호법 위반·알선수재 혐의에 대해 징역 2년과 추징금 2490만원을 선고한 원심을 확정함. 12·3 비상계엄 사태와 관련해 대법원에서 형이 확정된 첫 사례. 다만 내란 중요임무 종사 등 핵심 혐의를 다투는 본 사건 재판은 별도로 진행됨.
서울중앙지법 형사합의21부(재판장 이현복)가 2025년 12월 15일 노상원의 알선수재·개인정보보호법 위반 혐의에 대해 징역 2년과 2490만원 추징을 선고함. 재판부는 '부정선거 수사'라는 위법한 목적의 제2수사단 구성을 위해 군인 개인정보가 유출됐다며 유죄로 판단하고, 계엄 준비 행위 자체를 '위헌적·위법적'이라고 명시함. 12·3 비상계엄을 둘러싼 법원의 첫 위헌·위법 판단으로 평가됨.
조은석 내란·외환 특별검사팀이 2025년 6월 30일 노상원을 알선수재 및 개인정보보호법 위반 혐의로 추가 기소함. 노상원이 계엄사령부 합동수사본부의 '제2수사단'을 부정선거 수사 명목으로 꾸리려 정보사 요원들의 인적사항을 넘겨받고, 진급을 약속하며 군 간부들로부터 금품을 받은 혐의. 내란 본 사건과는 별도로 계엄 준비 과정의 위법성을 겨눈 기소.
검찰 비상계엄 특별수사본부가 2025년 1월 10일 노상원을 내란 중요임무 종사 및 직권남용 권리행사 방해 혐의로 구속기소함. 검찰은 노상원을 김용현 전 국방부 장관과 함께 비상계엄을 사전에 모의·준비한 핵심 인물로 판단함. 이로써 민간인 신분의 그가 내란 사건의 주요 피고인으로 정식 재판에 넘겨짐.
국가수사본부가 2024년 12월 15일 노상원을 문상호 당시 정보사령관 등과 함께 비상계엄을 사전 기획한 내란 혐의로 긴급체포함. 체포 당시 노상원의 안산 점집에서 계엄 모의 정황이 담긴 수첩이 압수되어 핵심 증거로 확보됨. 민간인 신분이던 그가 군을 동원한 계엄에 깊이 관여한 정황이 드러난 분기점.
윤석열 대통령이 2024년 12월 3일 밤 긴급 담화를 통해 비상계엄을 선포하고, 계엄군이 국회와 중앙선거관리위원회 등에 투입됨. 국회가 곧바로 본회의를 열어 12월 4일 새벽 비상계엄 해제 요구 결의안을 의결하면서 약 6시간 만에 계엄이 해제됨. 1987년 민주화 이후 처음 선포된 비상계엄으로, 노상원 등이 사전 기획한 내란의 실행 국면으로 규정됨.
노상원이 비상계엄을 앞두고 경기 안산 상록구의 한 롯데리아(안산상록수점)에서 문상호 정보사령관과 정보사 대령 등을 2024년 11월 17일·12월 1일·12월 3일 세 차례 만난 이른바 '햄버거 회동'을 가짐. 12월 1일 회동에서는 '중앙선관위 전산서버를 확인하면 부정선거 증거를 확보할 수 있다'며 요원 선발과 선관위 장악을 지시한 것으로 검찰 수사 결과 드러남. 민간인 신분의 노상원이 계엄을 사전 기획한 핵심 정황으로 지목됨.